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• 9 寸晶圆校验玻璃板 打孔片 抛光片

  
  

  用途

  高精度校验玻璃依托平面精度稳定、光学均匀的特点，主要用于半导体晶圆制程检测、光刻机对位校验、探针台基准标定、光学影像设备校准：

  一、半导体晶圆检测

  1.9 寸硅片尺寸、平面度、翘曲度基准校验，替代标准晶圆做设备日常校准。 2. 晶圆外观 AOI 光学检测机基准标定板，统一设备检测精度。

  二、光刻 & 封装工序

  光刻机、固晶机对位基准片，定期校正设备镜头与平台精度，降低生产不良。

  三、探针测试设备

  探针台定位基准板，校验探针坐标、平台平整度，保证晶圆电性测试精准。

  四、光学实验室标定

  影像测量仪、轮廓仪标准基准玻璃，仪器定期精度校正。

  产品优势（对比普通玻璃 / 石英片）

  板面精密抛光、平面度公差严苛，热变形极小，反复清洗不易形变，长期使用精度稳定，是半导体设备专用标准校验件。

  
  

  

产品介绍:

产品尺寸：适配 9 英寸晶圆标准尺寸

产品特点：超高平面度、高精度公差、光学均匀、低应力、尺寸稳定性好、耐常规化学清洗