石英抛光窗口片
高纯抛光石英窗口片依托高透光、耐腐蚀、热稳定性好的特性,广泛应用于半导体设备视窗、光学仪器密封窗口、高温炉观察窗、化工反应釜视镜、光谱检测设备:
1. 真空腔体、PECVD、镀膜机透光视窗,隔绝粉尘与工艺气体,耐受高温与制程腐蚀性气体,不析出杂质污染腔体内工件。
各类光谱仪、紫外设备光路密封窗口,保证光线无损穿透,提升检测精度。
管式炉、烧结炉观察视窗,长期 200–1100℃高温使用,冷热冲击不易开裂。
反应釜、腐蚀反应设备可视镜片,耐氢氟酸、浓酸碱,实时观察内部反应状态。
可耐受 HF 腐蚀、长期 1100℃高温;双面光学抛光,透光率远优于普通玻璃,低热膨胀不易形变,高纯材质适配高洁净高端工况。
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